天瑞能量色散X射線膜厚儀

智能型Thick800A是天瑞儀器股份有限公司的集多年X熒光測(cè)厚儀經(jīng)驗(yàn)，專門研發(fā)的一款上照式膜厚測(cè)試儀。儀器外觀簡(jiǎn)潔大方，通過(guò)自動(dòng)化的X軸Y軸Z軸的三維移動(dòng)，雙激光定位和保護(hù)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)平面、凹凸、拐角、弧面等各種簡(jiǎn)單及復(fù)雜形態(tài)的樣品進(jìn)行快速對(duì)焦精準(zhǔn)分析。

天瑞能量色散X射線膜厚儀性能優(yōu)勢(shì)

配置——采用高分辨率SDD探測(cè)器;分辨率高達(dá)140eV
上照式設(shè)計(jì)——實(shí)現(xiàn)微小不規(guī)則表面樣品如弧形，拱上照式設(shè)計(jì)形，凹槽，螺紋等異形的快、準(zhǔn)、穩(wěn)高效檢測(cè)
高精度自動(dòng)化的X軸Y軸Z軸的聯(lián)動(dòng)裝置實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的精準(zhǔn)對(duì)焦快速檢測(cè)
采用高度自動(dòng)定位激光，可快速精準(zhǔn)定位測(cè)試高度，以滿足不同尺寸的鍍層測(cè)試
多種準(zhǔn)直孔可供選擇——準(zhǔn)直孔：0.05*0.3mm；Ф0.1mm；Ф0.2mm；Ф0.3mm；Ф0.5mm
定位精準(zhǔn)——樣品可快速精準(zhǔn)定位
操作簡(jiǎn)易——全自動(dòng)智能集成設(shè)計(jì)，讓檢測(cè)輕松完成

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

儀器配置高

圖1

圖2

智能型Thick 800A采用的是業(yè)內(nèi)SDD半導(dǎo)體電制冷探測(cè)器，分辨率可達(dá)140eV,可以很好的區(qū)分相鄰元素譜峰。
以Au/Ni/Cu鍍層為例，正比計(jì)數(shù)盒儀器譜圖如圖一，從譜圖可以看出銅鎳兩元素的譜峰重疊嚴(yán)重，金的峰形與樣品本底重疊；不利于元素準(zhǔn)確分析。
圖二是半導(dǎo)體SDD儀器測(cè)試Au/Ni/Cu的光譜圖，從譜圖可以看出銅鎳金這三個(gè)元素的譜峰得到很明顯的區(qū)分，有利于元素精準(zhǔn)分析。

聚焦光路設(shè)計(jì)

智能型Thick 800A采用*的光路交換裝置，讓X射線與攝像光處于同一垂直線，達(dá)到激光點(diǎn)與測(cè)試點(diǎn)一體，且X光高度聚焦；配合FP軟件達(dá)到對(duì)焦變焦功能，實(shí)現(xiàn)微小不規(guī)則樣品的精準(zhǔn)測(cè)試；高集成的光路交換裝置與接收器的角度可縮小一倍，有效的減少弧度傾斜放樣帶來(lái)的誤差。

特制濾波片實(shí)現(xiàn)低背景測(cè)量

通過(guò)特制濾波片可以有效降低X熒光的吸收與增強(qiáng)作用，減小背景散射，提高對(duì)超薄金屬元素的檢出限（可以達(dá)到0.005um），實(shí)現(xiàn)超薄金屬鍍層厚度分析。

高精度定位技術(shù)

高精度移動(dòng)平臺(tái)可精確定位測(cè)試點(diǎn)，平臺(tái)電機(jī)重復(fù)定位精度小于0.005mm；移動(dòng)平臺(tái)可通過(guò)測(cè)試軟件可視化操作：鼠標(biāo)可控制移動(dòng)平臺(tái)，鼠標(biāo)點(diǎn)擊的位置就是被測(cè)點(diǎn)。

FP算法

智能型Thick 800A分析核心技術(shù)----FP算法
元素厚度精準(zhǔn)檢測(cè)
微區(qū)分析、薄膜分析、高級(jí)次譜線分析

更加專業(yè)和人性化的測(cè)試軟件

①主界面增加曲線快速切換功能；
②鼠標(biāo)移動(dòng)快捷鍵更改不需要ctrl，鼠標(biāo)點(diǎn)哪，樣品平臺(tái)就會(huì)移動(dòng)到哪里，更加方便客戶測(cè)試；
③鍍層厚度自動(dòng)判定，客戶可以根據(jù)需要自定義判定標(biāo)準(zhǔn)；
④工作曲線界面加入備注名稱可編輯，并可以顯示在主界面曲線界面，對(duì)英文元素做備注說(shuō)明，方便客戶區(qū)分，界面對(duì)客戶更加友好
⑤自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告，測(cè)試歷史數(shù)據(jù)查看、檢索等
⑥行業(yè)解決方案，如精密部件釹鐵硼鍍鎳鍍銅再鍍鎳，電泳漆測(cè)厚度，鋁塑膜測(cè)試鍍鋁的厚度等